產品介紹：

在傳承XQ15-GⅢ激光平面干涉儀的實用性、耐用性的特點。可更廣泛適用于大批量生產單位的生產車間大口徑平面及棱鏡平面度檢測、微小楔角測量，更適合于大平板生產流水線快速篩選的應用。

技術參數：

1．第一標準平面（A面），工作直徑D1=Φ250mm，平面的面形偏差小于0.045μm(λ/15)

2．第二標準平面（B面），工作直徑D2=Φ250mm，平面的面形偏差小于0.045μm(λ/15)

3．準直系統…………………………工作直徑Φ250mm，焦距 f = 580mm，波象差<λ/15

4．工作室尺寸……………………………………………1100×1100×350mm

5．光源規格……………………………………激光ZN250（He－Ne）（632.8nm）。

6．儀器的外形尺寸……………………………… 1400×1250×1560mm(高)

7．儀器質量…………………………………………150kg